| 番号 | 装 置 名 | 型 式 | 製造元 | 年式 | 数量 |
| ET-AF0002 | ナンバリング装置 | 東京システム工業 | 01 | 1 | |
| ET-AF0003 | 成膜前洗浄装置 | 3084 | 今井製作所 | 00 | 1 |
| ET-AF0004 | 密閉式超音波洗浄装置 | FUC-122 | アスカ精器産業 | 01 | 1 |
| ET-AF0005 | バックコート装置 | SCW-629A(S) | 大日本スクリーン | 90 | 1 |
| ET-AF0008 | ランパス | M3 | ニコン | 87 | 1 |
| ET-AF0009 | ランパス | L400 | ニコン | 87 | 1 |
| ET-F0001 | ダイボンダー | ＳＰＭ−ＦＡ−５・４Ａ | 新川 | 90 | 1 |
| ET-F0002 | ワイヤーボンダー | ＦＢ−１２８Ａ | カイジョー | 95 | 1 |
| ET-F0003 | ｳｴﾊｰｽｸﾗﾋﾞﾝｸﾞ洗浄機 | Ｎ−２２０６ | ＮＲＫ | 97 | 1 |
| ET-F0004 | 超音波洗浄機 | ACS-242H3-1A | 島田理化 | 99 | 1 |
| ET-F0005 | KLA寸法測定機 | KLA5107 | KLA Tencor | 97 | 1 |
| ET-F0006 | レジストハクリ装置 | 富葉産業 | 97 | 1 | |
| E |
|||||
| ET-F0009 | 浸潰式現像機 | 富葉産業 | 97 | 1 | |
| ET-F0010 | 連続ベーク炉 | ZCC-202001-25-4 | 光洋サーモシステム | 98 | 1 |
| ET-F0011 | 超音波洗浄機 | 楠本 | 97 | 1 | |
| ET-F0012 | イオンミーリング装置（小型） | ＩＭＬ−２５０ | 日立製作所 | 93 | 1 |
| ET-F0013 | 抵抗溶接機 | ＮＲＷ−１１６５ | アビオニクス | 97 | 1 |
| ET-F0014 | 現像機 | Ｄ−ＳＰＩＮ SDM-524 | 大日本スクリーン | 86 | 1 |
| ET-F0016 | 真空オーブン | A-990043 | 中央理研 | 96 | 1 |
| ET-F0017 | ワイヤーボンダ | ＦＢ−１１８Ａ | カイジョー | 98 | 1 |
| ET-F0018 | アッシャー | ＯＰＭＡ−１２００ | 東京応化 | 93 | 1 |
| ET-F0019 | アッシャー | ＯＰＭＡ−１２５０ | 東京応化 | 93 | 1 |
| ET-F0023 | ニコンステッパー ☆ | ＮＳＲ 1505−Ｇ２ | ニコン | 90 | 1 |
| ET-F0024(No.2) | イオンミーリング装置 | IML-580 (IM-2-64) | 日立製作所 | 93 | 1 |
| ET-F0025 | 枚葉式ミーリング | ＩＭＬ−３−１ | 日立製作所 | 93 | 1 |
| ET-F0028 | エリプソメーター | L１１５C | Gaertner Scientific Corp. | 91 | 1 |
| ET-F0029 | アライナー | PLA-501 | キャノン | 96 | 1 |
| ET-F0030 | アライナー | TME-450PPH | トプコン | 95 | 2 |
| ET-F0031 | コンタクトアライナー | MA56 | ｶｰﾙｽﾞｰｽ | 90 | 1 |
| ET-F0032 | スパッタ装置 | HCU-12P-65A | 徳田 | 1 | |
| ET-F0034 | 測定SEM | S-6000 | 日立 | 1 | |
| ET-T0001 | ワイヤーボンダー | 4523-AD | K&S | 1 | |
| ET-T0002 | レーザー加工機 | ＭＥＸ−２４ | 三菱 | 1 | |
| ET-T0003 | 信頼性評価解析機 | NTS-3400 | NOVATEC | 1 | |
| ET-T0005 | 反応性ガス対応ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ | ＲＥ−２０１Ｐ | アルバック | 1 | |
| ET-T0006 | リフロー炉 | シンコー | 1 | ||
| ET-T0007 | 1 | ||||
| ET-T0008 | ﾜｲﾔｰﾎﾞﾝﾀﾞｰ | ＵＷＢ−１０１ＡーＳＡ | 超音波工業 | 1 | |
| ET-T0009 | ＵＶキュア炉 | ＲＡＤ−２００Ｆ/ｂ | リンテック | 1 | |
| ET-T0010 | ＩＰＡペーパー乾燥装置 | 東京マイクロテック | 1 | ||
| ET-T0011 | ５”ウェハー移載機 | ＳＷＴー２５５ＦＳ | 1 | ||
| ET-T0012 | ドライエッチャー | IDL-4003 | アネルバ | 1 | |
| ET-T0013 | アッシャー | ＯＡＰＭ−４０６ | 東京応化 | 1 | |
| ET-T0016 | シームウェルダー | MAW-1243 | アビオニクス | 1 | |
| ET-T0015 | ドライエッチャー | DEA-503 | アネルバ | 82 | 1 |
| ET-T0018 | 真空オーブン | FC-410 | アドバンテック | 1 | |
| ET-F0035 | オーブン | TYO-300 | パソリナ | 2 | |
| ET-F0036 | 電子顕微鏡 ☆ | ＪＳＭ−８２０ | 日本電子 | 1 | |
| ET-F0037 | ウエハー移し替え装置 | WT-254FD | 1 | ||
| ET-F0038 | セミオートプローバー | ＳＡＷ用 | ウエントアース | 1 | |
| ET-F0040 | 電子顕微鏡 | ＪＳＭ５３００ | 日本電子 | 2 | |
| ET-F0042 | 包装機 | SPA | 大成工業 | 90 | 1 |
| ET-F0044 | 自動ダイボンダーIC搭載機 | G-J65 | 千代エンジニアリング | 98 | 1 |
| ET-F0045 | 全自動水晶子搭載機 | G-J92 | 千代エンジニアリング | 98 | 1 |
| ET-F0046 | 真空オーブン | CF282A | Fisher Scientific | 2 | |
| ET-F0047 | 電子顕微鏡 | X8-UBU | ニコン | 00 | 1 |
| ET-F0050 | 移載機 | 昭和真空 | 98 | 1 | |
| ET-AF0010 | 表面分析装置 | AC-1 | 理研計器 | 94 | 1 |
| ET-AF0011 | UV洗浄機 | U17-CU4 | ｸﾘｰﾝﾃｸﾉﾛｼﾞｰ | 01 | 1 |