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最終更新日：2007年07月03日
DLC成膜装置 MODEL/OPI-510

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大型基板（１１００×１３００ｍｍ）検査装置

　　パターン検査装置　　FPR-6590 　　　仕様概要
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　
　　プローブテスター　　M8901-3Z　　　　 仕様概要
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

　　顕微鏡システム　　SHL-780LW/MP　仕様概要
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

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遊休装置
プロキシミティアライナー
　　　　　　　　　TME-４５０PPH